看完本篇你就知道什么是圓探針式臺階儀了

更新時間：2022-07-14

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　　臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。根據使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。

　　其測量原理是：當觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。

　　傳感器輸出的電信號經測量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調幅信號。經放大與相敏整流后，可將位移信號從調幅信號中解調出來，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經噪音濾波器、波度濾波器進一步濾去調制頻率與外界干擾信號以及波度等因素對粗糙度測量的影響。

　　圓探針式臺階儀主要用于材料的結構及表面解析，在微電子、半導體、太陽能、高亮度LED、觸摸屏、醫療、科學研究和材料科學領域大顯身手。

　　同時按照應用的領域不同，要求不同，臺階儀的型號也多種多樣，下面以我們優尼康提供的一款型號為P-17的臺階儀為例，簡單介紹下這款儀器的功能以及應用，以供大家參考了解臺階儀可以做什么，有哪些功能，該型號為常用款，如有更高需求也可以咨詢我們，會為大家推薦更合適的機臺。

　　通過點擊式平臺控制、頂視和側視光學系統以及光學變焦相機等功能，程序設置簡便快速。 P-17有用于量化表面形貌的各種濾鏡、調平和分析算法，可支持2D或3D測量。圖案識別、排序和特征檢測實現全自動測量。

　　圓探針式臺階儀的設備特點如下：

　　臺階高度：幾納米至1000μm

　　微力恒力控制：0.03至50mg

　　樣品全直徑掃描，無需圖像拼接

　　視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機

　　圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

　　軟件：簡單易用的軟件界面

　　生產能力：通過測序、圖案識別和SECS/GEM實現全自動化

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